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MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下彻底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。最适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
在一般产业中也有大量的销售记录
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型号
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SEC- (质量流量控制器)
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E40/E40MK3
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E50/E50MK3
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SEF- (质量流量计)
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E40
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E50
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适用气体种类*1
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非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
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气体接触部材质
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SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
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阀门型号
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非通电时 关闭
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标准流量量程 (N2相应F.S.)
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10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
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20/30 SLM
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流量控制范围
(适于SEC系列)
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2〜100% F.S.
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流量测量范围
(适于SEF系列)
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0〜100% F.S.
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响应速度
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1秒以内(T98)
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流量精度
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±1% F.S.
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直线性
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±0.5% F.S.
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反复性
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±0.2% F.S.
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工作差压值值
(适于SEC系列)
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10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
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使用压力
(适于SEF系列)
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300kPa(G)以下
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耐 压
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1MPa(G)以下
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外部泄漏率
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1×10-8Pa・m3/s(He)以下
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使用环境温度
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5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
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流量设定信号
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0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S.
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流量输出信号
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0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)
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驱动电源
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+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
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＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
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标准接头*2
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1/4SWL 类型
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