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搭载采用了冷却检测方式的流量传感器
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可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
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名称
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质量流量计
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型号
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LF-F20M-A
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LF-F30M-A
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LF-F40M-A
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LF-F50M-A
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LF-F60M-A
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全标度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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检测控制范围
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5〜100% F.S.
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对象液体种类 *1
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可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
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液体粘度 *2
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最大值. 0.1 Pa·s (100cp)
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精度 *3
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±1% F.S.
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直线性 *3
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±0.5% F.S.
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重复性 *3
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±0.5% F.S.
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响应精度
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3秒以内 (T98)
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2秒以内 (T98)
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使用环境温度 *4
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5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保)
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温度影響 Span
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±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
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工作差压值值 *5
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最大值. 5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo 控制阀)
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耐压
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10MPa (视为流量计)
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压力損失
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最大值. 500Pa
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流量设定信号
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模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)
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流量输出信号
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模拟：0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
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驱动电源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏规格
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5×10-12Pa·m3/s (He)
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接液部材质
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SUS316L, Ni
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标准接头
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1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型
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1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型
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1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型
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名称
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质量流量控制器
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型号
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LV-F20 (PO/MO)
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LV-F30 (PO/MO)
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LV-F40 (PO/MO)
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LV-F50 (PO/MO)
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LV-F60 (PO/MO)
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全标度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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检测控制范围
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5〜100% F.S.
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对象液体种类 *1
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可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
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液体粘度 *2
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最大值. 0.01 Pa·s (10cp)
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精度 *3
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±1% F.S.
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直线性 *3
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±0.5% F.S.
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重复性 *3
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±0.5% F.S.
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响应精度
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3秒以内 (T98)
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2秒以内 (T98)
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使用环境温度 *4
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5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保)
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温度影响Span
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±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
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工作差压值 *5
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0.05〜0.3MPa
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耐压
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1MPa
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压力损失
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ー
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流量设定信号
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模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
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流量输出信号
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模拟：0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
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驱动电源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏规格
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PO 类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa•m3/s (He)
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接液部材质
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PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 类型： SUS316L，Ni
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标准接头
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1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型
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1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型
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1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型
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*1： LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2： LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 最大值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296 为准。
*4： 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
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